Thermische Strömungssensoren
Thermische Strömungssensoren sind insbesondere für kleinste Messgrößen in Gasen und Flüssigkeiten geeignet. Die Sensoren bestehen aus einem Heizer und zwei Temperatursensoren von wenigen Mikrometer Größe.
Die Temperatursensoren sind als Thermopiles mit einer Empfindlichkeit von ca. 3,6 mV pro Kelvin ausgeführt. Diese Elemente sind auf einer Silizium-Oxid/ Nitrid-Membran mit einer Stärke von 200 nm aufgebracht und mit dünnen Schichten aus Siliziumoxid und Silizium-Nitrid gegen Medieneinflüsse geschützt.
Wenn Sie weitere Informationen wünschen, wenden Sie sich bitte an:
Kontakt
Matthias Ashauer
HSG-IMIT
Institut für Mikro- und Informationstechnik
Wilhelm-Schickard-Str. 10
78052 Villingen-Schwenningen
Tel.: +49 7721 943 -229
E-Mail: matthias.ashauer@hsg-imit.de
Die Temperatursensoren sind als Thermopiles mit einer Empfindlichkeit von ca. 3,6 mV pro Kelvin ausgeführt. Diese Elemente sind auf einer Silizium-Oxid/ Nitrid-Membran mit einer Stärke von 200 nm aufgebracht und mit dünnen Schichten aus Siliziumoxid und Silizium-Nitrid gegen Medieneinflüsse geschützt.
Wenn Sie weitere Informationen wünschen, wenden Sie sich bitte an:
Kontakt
Matthias Ashauer
HSG-IMIT
Institut für Mikro- und Informationstechnik
Wilhelm-Schickard-Str. 10
78052 Villingen-Schwenningen
Tel.: +49 7721 943 -229
E-Mail: matthias.ashauer@hsg-imit.de
