Durchfluß- und Druckregler für Gase

Im Rahmen des ZeMiS-Pilotprojektes wurde ein Durchfluss- und Druckregler entwickelt, der aus mikrotechnisch hergestellten Komponenten und miniaturisierten Ventilen aufgebaut und charakterisiert wurde und eine sehr schnelle Regelung erlaubt.
Durchflussregler und Druckregler sind in der Industrie und im Labor weit
verbreitet, sehr genau und in den verschiedensten Messbereichen erhältlich.
Auch digitale Elektroniken und Regler auf Basis eines µ-Prozessors mit seriellen Schnittstellen und Bussystemen zur Kommunikation und digitalem Input/Output z.B. für Sollwertvorgaben, halten immer mehr Einzug in die Regelungstechnik.

Ansprechpartner
Matthias Ashauer
HSG-IMIT
Institut für Mikro- und Informationstechnik
Wilhelm-Schickard-Str. 10 Telefon
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Tel.: +49 7721/943-229
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