Thermisch detektierende Taupunktsensoren

Der thermisch detektierende Taupunktsensor arbeitet mit Heizelementen und Temperatursensoren auf einer Silizium-Nitrid-Membran. Analog zu konventionellen Taupunktspiegeln wird die sensitive Fläche durch einen Peltierelement gekühlt.
Das beim Unterschreiten der Taupunkttemperatur entstehende Kondensat wird aber nicht wie bei bekannten Taupunktspiegeln optisch detektiert, sondern es werden die thermischen Eigenschaften der Silizium-Nitrid-Membran genutzt.

Kontakt
Matthias Ashauer
HSG-IMIT
Institut für Mikro- und Informationstechnik
Wilhelm-Schickard-Str. 10
78052 Villingen-Schwenningen
Tel.: +49 7721 943 -229
E-Mail: matthias.ashauer@hsg-imit.de