Hochgenauer dreiachsiger MEMS Beschleuniguungssensor B-290
NG LITEF entwickelt und produziert hochgenaue Beschleunigungsmesser für den Einsatz in Kurs-Lage-Referenzsystemen (AHRS) und inertialen Messsystemen (IMU) sowie Stand-alone Anwendungen.
Die Genauigkeit des B-290 MEMS Beschleunigungssensors ermöglicht modernen Kurs-Lage-Referenzsystemen auch die Ausführung von zusätzlichen Funktionen wie die Steuerung des automatisierten Schwebens von Hubschraubern und Nordfindung (ohne magnetischen Kompass) durch die Kreisel.
NG LITEF verfügt über eine eigene MEMS Fertigungslinie, in der Kreisel und
Beschleunigungsmesser im Trockenätzverfahren (DRIE) und anisotropen
Ätzverfahren (bulk micromachining) hergestellt werden.
Die Sensorelemente sind als Full-Silicon-Sensoren konzipiert, wobei die Siliziumfunktionsschichten direkt – ohne weitere Verbindungsmaterialen - durch das Silicon-Direct-Bonding-Verfahren hermetisch dicht miteinander verbunden sind, was zu einer hohen Langzeit- und Temperaturstabilität führt. Die kapazitiven Beschleunigungssensoren sind zusammen mit einer Auswerteelektronik in einem hermetisch dicht verschweißten Hybridgehäuse verpackt. Die Auswerteelektronik umfasst unter anderem eine Kapazitätsmessbrücke und einen Signalprozessor, mit dem Kennlinien linearisiert und die seismische Masse der Beschleunigungssensoren im Kompensationsmessverfahren (closed loop) in der Nulllage gehalten werden. Über eine digitale Schnittstelle werden die temperaturkompensierten Beschleunigungs- oder Geschwindigkeitsinkremente ausgeben. Im Hintergrund werden umfangreiche Selbstüberwachungsfunktionen durchgeführt. Die verwendete Software und Hardware sind nach DO178B Level A und DO254 zertifiziert.
Bei Fragen zum B-290 wenden Sie sich bitte an:
Northrop Grumman LITEF GmbH
Lörracher Straße 18 Postfach 774
79115 Freiburg 79007 Freiburg
Tel. +49 761 4901-0
Fax. +49 761 4901-480
Die oben stehenden Informationen als PDF-Datei sowie Bilder zum B-290 erhalten Sie hier:
NG LITEF verfügt über eine eigene MEMS Fertigungslinie, in der Kreisel und
Beschleunigungsmesser im Trockenätzverfahren (DRIE) und anisotropen
Ätzverfahren (bulk micromachining) hergestellt werden.
Die Sensorelemente sind als Full-Silicon-Sensoren konzipiert, wobei die Siliziumfunktionsschichten direkt – ohne weitere Verbindungsmaterialen - durch das Silicon-Direct-Bonding-Verfahren hermetisch dicht miteinander verbunden sind, was zu einer hohen Langzeit- und Temperaturstabilität führt. Die kapazitiven Beschleunigungssensoren sind zusammen mit einer Auswerteelektronik in einem hermetisch dicht verschweißten Hybridgehäuse verpackt. Die Auswerteelektronik umfasst unter anderem eine Kapazitätsmessbrücke und einen Signalprozessor, mit dem Kennlinien linearisiert und die seismische Masse der Beschleunigungssensoren im Kompensationsmessverfahren (closed loop) in der Nulllage gehalten werden. Über eine digitale Schnittstelle werden die temperaturkompensierten Beschleunigungs- oder Geschwindigkeitsinkremente ausgeben. Im Hintergrund werden umfangreiche Selbstüberwachungsfunktionen durchgeführt. Die verwendete Software und Hardware sind nach DO178B Level A und DO254 zertifiziert.
Bei Fragen zum B-290 wenden Sie sich bitte an:
Northrop Grumman LITEF GmbH
Lörracher Straße 18 Postfach 774
79115 Freiburg 79007 Freiburg
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