Sensorarray zur Luftqualitätsmessung

Die Bestimmung der Luftqualität erfordert die quantitative Messung von Gasen, Feuchtigkeit und Temperatur. In einer Kooperation von HFU, IPM und IMTEK wurde ein monolithisch integriertes Sensorarray, das aus einem Metalloxid-Gassensor, einem Feuchtesensor aus porösem Silizium und einem Pt-Temperatursensor besteht, zur Luftqualitätsmessung entwickelt. Die thermische Entkopplung der bei sehr unterschiedlichen Temperaturen arbeitenden Gas- und Feuchtesensoren erfolgt durch Platzierung der Sensoren auf getrennten Hotplates. Aufgrund der geringen Wärmekapazität sind schnelle Temperaturwechsel und damit die Verwendung neuartiger Auswerteverfahren zur Reduzierung der Querempfindlichkeiten und Verbesserung der Selektivität (Auswertung des dynamischen Temperaturantwortverhaltens) möglich.
Die Realisierung erfolgt mit SOI-Technologie. Typische Anwendung sind z.B. Klimaanlagen (PKW, Räume), intelligente Räumbelüftung und Lebensmittelsindustrie.

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Albert-Ludwigs-Universität Freiburg
Georges-Köhler-Allee 103
79110 Freiburg
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