Nanoimprint-Templates

Die UV-Nanoimprint Lithografie etabliert sich zunehmend als attraktive Technik, um kleinste Strukturen kosteneffektiv zu reproduzieren. Ein transparenter Stempel, auch Template genannt, der das Negativ von zu prägenden Strukturen enthält, wird in ein auf das Substrat aufgebrachtes Monomer gedrückt, das durch UV-Bestrahlung ausgehärtet wird. Die erreichbaren Auflösungen und Strukturformen sind somit nur vom Template abhängig. Auch die Prägung von komplexeren dreidimensionalen Strukturen ist mit dieser Technik möglich. IMS CHIPS nimmt in diesem Forschungsbereich eine führende Rolle ein.

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