Mikrotechnisch hergestelltes aktiv-optisches Bauelement für optische Systeme (MiaBoSs)

Eine Vielzahl optischer Anwendungen benötigt Fokussiersysteme. Die überwiegende Mehrzahl aller Anwendungen nutzt bisher eine rein mechanische, insbesondere eine motorisierte Fokussierung. Diese bisher eingesetzten mechanischen Fokussierungen (z.B. Autofokus in Fotokameras) sind naturgemäß mit einer Reihe von erheblichen Nachteilen verbunden. Zu nennen sind z.B.: lange Reaktionszeit, hohe Verlustleistung, viele Einzelkomponenten, hohe Systemkosten und großes Bauvolumen, insbesondere Bautiefe.

Im Projekt „MiaBoSs“ (gefördert durch das BMBF) wird in Zusammenarbeit dreier Hochschulen und vier industrieller Partner ein System für Anwendungen in der Aktiven Optik entwickelt, dessen Basiselement mit Mikrostrukturtechniken realisiert wird und das eine elektrostatisch ausgelenkte dünne Siliziummembran enthält, die mit einer reflektierenden Oberfläche beschichtet ist. Dabei wird eine besonders einfache, preiswerte mikrotechnische Realisierung angestrebt (ein 2-3 Masken-Prozess mit SOI Technologie), bei der das Membranmaterial aus (spannungsfreiem) einkristallinem Silizium besteht.

Kontakt:
Prof. Dr. Ulrich Mescheder
Hochschule Furtwangen University
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